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OLED材料升华仪的内部构造分析
发布时间:2020-07-28   点击次数:182次
  OLED材料升华仪的真空组件包括旋片式机械泵、涡轮分子泵、分子泵控制电源、复合真空计、真空规管、真空连接件、工业制冷机、粉尘过滤器、油雾过滤器等,在涡轮分子泵与主加热石英管之间有冷阱吸收器,油泵前端配置粉尘过滤器,油泵出气口配置油雾过滤器,工业制冷机配合使用。过滤方式系统采用三级过滤保护装置,分别采用5级微孔金属滤网、一套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤。
  炉体升降机构:炉体为开启式,由气动控制可上下启闭,并设有防呆装置;
  真空获得系统:两级泵(机械泵+分子泵,当分子泵工作时机械泵作为前级泵);
  真空显示系统:复合真空计(由电阻真空计+电离真空计组成);
  水冷系统:设备预留水冷接口,可搭配水冷机对分子泵及法兰进行循环水冷却。
  气体过滤:气体过滤器安装在真空室与泵体之间,有效避免在低真空工作阶段,气体抽速较快时泵体对大分子颗粒的吸入,有效的保护了真空机组;
  温控系统:人机界面加PLC控制,内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据。
  OLED材料升华仪的提纯装置增加照明灯采用长条观察视窗,可清楚地看到升华区,保温区材料升华和沉积的状态;
  提纯装置本底真空度高,能清洁获得较高端的材料;
  三层石英管结构可保证真空室管不受污染,保持较高的真空度。中层管取料方便,易于清洗,内层料管分段升华后各段料容易区分,并有滤网防止粉尘随气流飘动;
  提纯材料舟采用导轨送、取蒸发舟,运动平稳,取送方便;
  提纯装置配有过滤器:粉尘沉积冷阱,防止真空系统污染;
  采用触摸屏人机智能控制,一次设好升温、降温曲线及生产程序,装置可全部自动完成,并有报警功能。
(株)知友技术

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主营产品:真空升华仪,有机材料升华仪,真空钎焊炉

工厂地址:韩国忠清南道

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